Nano care 1 白光幹涉儀是一款用于對(duì)各種(zhǒng)精密器件及材料表面(miàn)進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。以白光幹涉技術為原理、結合精密Z向(xiàng)掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面(miàn)進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面(miàn)3D圖像,通過(guò)系統軟件對(duì)器件表面(miàn)3D圖像進(jìn)行數據處理與分析,并獲取反映器件表面(miàn)質量的2D、3D參數,從而實現器件表面(miàn)形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
主要優勢
• 高穩定性測量:采用光學(xué)幹涉技術非接觸、高穩定、高速測量;
• 高精度測量:光學(xué)分辨率可達0.4um;
• 大面(miàn)積測量:自動縫合技術實現大面(miàn)積高精度測量;
• 獨有的特殊光源模式:可以廣泛适用于從光滑到(dào)粗糙等各種(zhǒng)精密器件表面(miàn)的測量
• 測量參數涵蓋面(miàn)廣:對(duì)各種(zhǒng)産品、部件和材料表面(miàn)的平面(miàn)度、粗糙度、波紋度、面(miàn)形輪廓、表面(miàn)缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面(miàn)形貌特征進(jìn)行測量和分析;
• 軟件功能(néng)完備:一體化操作的測量與分析軟件,自動多區域測量功能(néng)、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等;
• 适用範圍寬:可測量多種(zhǒng)類型樣(yàng)品的表面(miàn)微細結構;
• 性價比優良:真正意義的免維護及優良的性能(néng)價格比。
主要應用
對(duì)各種(zhǒng)産品、部件和材料表面(miàn)的平面(miàn)度、粗糙度、波紋度、面(miàn)形輪廓、表面(miàn)缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面(miàn)形貌特征進(jìn)行測量和分析。
• 光學(xué)器件表面(miàn)、光學(xué)加工
• 半導體制造及封裝工藝檢測
• MEMS器件等超精密加工行業
• 3C電子玻璃屏及其精密配件
• 微納材料及制造
• 科研院所
• 測量各類從超光滑到(dào)粗糙、從低反射率到(dào)高反射率的物體表面(miàn)、從納米到(dào)微米級别工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)内外标準共計300餘種(zhǒng)2D、3D參數作為
評價标準。