Nano Care2光學(xué)3D表面(miàn)輪廓儀

Nano Care2光學(xué)3D表面(miàn)輪廓儀

高穩定測量:非接觸測量; 

高精度測量:分辨率0.4um;

大面(miàn)積測量:自動縫合技術;

獨有的特殊光源模式;

測量參數涵蓋面(miàn)廣;

軟件功能(néng)完備;

适用範圍寬;

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Nano care 2 白光幹涉儀是一款用于對(duì)各種(zhǒng)精密器件及材料表面(miàn)進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。以白光幹涉技術為原理、結合精密Z向(xiàng)掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面(miàn)進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面(miàn)3D圖像,通過(guò)系統軟件對(duì)器件表面(miàn)3D圖像進(jìn)行數據處理與分析,并獲取反映器件表面(miàn)質量的2D、3D參數,從而實現器件表面(miàn)形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。


主要優勢

        •  高穩定性測量:采用光學(xué)幹涉技術非接觸、高穩定、高速測量; 

        •  高精度測量:光學(xué)分辨率可達0.4um;

        •  大面(miàn)積測量:自動縫合技術實現大面(miàn)積高精度測量;

        •  獨有的特殊光源模式:可以廣泛适用于從光滑到(dào)粗糙等各種(zhǒng)精密器件表面(miàn)的測量

        •  測量參數涵蓋面(miàn)廣:對(duì)各種(zhǒng)産品、部件和材料表面(miàn)的平面(miàn)度、粗糙度、波紋度、面(miàn)形輪廓、表面(miàn)缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面(miàn)形貌特征進(jìn)行測量和分析;

        •  軟件功能(néng)完備:一體化操作的測量與分析軟件,自動多區域測量功能(néng)、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等;

        •  适用範圍寬:可測量多種(zhǒng)類型樣(yàng)品的表面(miàn)微細結構;

        •  性價比優良:真正意義的免維護及優良的性能(néng)價格比。

主要應用

        對(duì)各種(zhǒng)産品、部件和材料表面(miàn)的平面(miàn)度、粗糙度、波紋度、面(miàn)形輪廓、表面(miàn)缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面(miàn)形貌特征進(jìn)行測量和分析。

        • 光學(xué)器件表面(miàn)、光學(xué)加工

        • 半導體制造及封裝工藝檢測           

        • MEMS器件等超精密加工行業

        • 3C電子玻璃屏及其精密配件

        • 微納材料及制造

        • 科研院所

        • 測量各類從超光滑到(dào)粗糙、從低反射率到(dào)高反射率的物體表面(miàn)、從納米到(dào)微米級别工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)内外标準共計300餘種(zhǒng)2D、3D參數作

          為評價标準。


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樣(yàng)品測試報告

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性能(néng)參數表

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光學(xué)規格表

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